MBE/MOCVD TECHNOLOGY

SVシリーズは、優れたシミュレーション技術と長年の経験から最適設計された縦型石英リアクタを採用しています。GaAs系・InP系材料において30年以上の歴史があるベストセラー機です。単枚機であるため、均一性・再現性・急峻性が優れており、多数枚では実現できない特性を有しています。研究用はもちろん、生産用としても豊富な納入実績があります。
また、水冷近接シャワーヘッド構造を備えたSVSシリーズは、反応性の高いガスをウエハ直近まで別々に供給することにより、高効率成長を実現します。
Ga2O3など酸化物成長にも最適です。

SHシリーズは、窒化物半導体用として特別に開発された横型スレンレス製リアクタを採用しています。シミュレーション技術により設計された内部石英フローチャネルの最適化により、優れた均一性を有しています。研究開発用GaN系・AlGaN系材料において豊富な納入実績があります。