MBE/MOCVD TECHNOLOGY

リアクタ内のガスフローパターンはエピタキシャル成長に大きな影響を与えます。
しかし、実際のパターンは確認することができず、リアクタ形状の最適化はある程度経験的な判断に委ねられてるのが現実です。
当社では、「流れの可視化技術」と数値流体解析技術を確立し、リアクタ形状の最適化に努めています。数値流体解析については、お客様のご要望に合わせたリアクタ形状の最適化に活用しています。