MBE/MOCVD TECHNOLOGY

高温真空ベーキング装置 / 小型蒸着装置

高温真空ベーキング装置

特長 さまざまな用途に応じたカスタムメイドの高温真空ベーキング装置の設計・製作が可能です。 仕様 最高加熱温度 到達圧力 ・・・　1000℃仕様 ・・・　1500℃仕様 ・・・　2000℃仕様 ・・・　< 1.33×10-4Pa ・・・　（ターボ分子ポンプ）

小型蒸着装置（VDE-300）

特長 架台内にターボ分子ポンプ、ロータリーポンプ、ピラニ真空計、電離真空計などをコンパクトに収納した小型の真空蒸着装置です。大型の排気口を有しており、短時間で真空排気することが可能です。 仕様 ベルジャー 到達圧力 ・・・　φ300×H300 ・・・　6.6×10-4Pa