MBE/MOCVD TECHNOLOGY

モバイルロードロックシステム　 　　　　　

離れたチャンバ間のサンプル輸送を超高真空を保持した状態で行うことが可能です。

低圧RFスパッタ装置　 　　　　　

高真空対応のスパッタガンを用いることにより、10^-2Pa台においても薄膜形成が可能です。

マイクロチャンバ

測定用基板を小型チャンバー内にセットし、真空引きガス導入及び加熱が可能です。また、チャンバー上部には観測用の窓を備え、顕微鏡による観察も可能です

RHEED (型式：RHP-307)

磁場偏向および、ベローズによるビーム軸調整機能を内蔵。フィラメント部の差動排気が可能な配管取付ポートをオプションとして追加できます。
■最大加速電圧：30kV
■取付フランジ：ICF70またはICF114

RHEED用カメラボックス

RHEEDスクリーン用の暗箱です。
CCDカメラやデジタルカメラの取付が可能です。

アクセスドア 　　　　　

基板出し入れ用のハッチです。ロードロック室への取付が可能です。

ガスフローシミュレーション受託解析サービス 　　　　　

3次元熱流体解析(CFD)ソフトを用いて、お客様の実験のお手伝いを致します。

多目的アニール装置（At-50） 　　　　　

多目的なアニール処理が可能です。
手動トランスファーロッドにより、加熱部への試料の出入れが短時間で行え、
高速の昇温/降温が可能です。

小型集光加熱炉 　　　　　

真空対応石英管と集光型ランプとの組み合わせにより、
低価格で本格的な高速昇温／降温プロセスが可能です。
1400℃までの加熱が可能です。