MBE/MOCVD TECHNOLOGY
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KOHエッチング装置
特長
SiCウエハやGaNウエハ等の溶融KOHによるエッチング処理を安全かつ精密に行います。
基板カゴにウエハをセットし、エッチング開始ボタンを押すだけです。
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