MBE/MOCVD TECHNOLOGY

搬送の確実性および、機構の信頼性を要求されるウエハ搬送は、生産機としての要望からスピードアップの必要性が生じています。
当社では、コンパクト化を基本にあらゆるニーズに対応できる搬送機を開発しています。搬送雰囲気も真空または窒素/水素大気圧などに対応可能です。