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マルチチャンバMBE装置+MOCVD装置 |
モニター付面発光レーザー用酸化装置 |
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ガスフローシミュレーション受託解析サービス |
SiC用超高温プロセス炉 |
（ICFガスケット価格表）
- 2024年3月8日 KOHエッチング装置CE機国内販売開始
- 2023年5月18日 KOHエッチャー好調 SiC/GaN欠陥解析（電子デバイス産業新聞2023年5月18日）
- 2022年11月8日 新型の酸化装置8インチに対応（電子デバイス産業新聞2022年11月3日）
- 2022年10月17日 リアルタイムモニタ付8インチ用面発光レーザ作製用酸化装置の製品化について
- 2022年9月26日 「京都モデル」ワーク・ライフ・バランス認証企業として認証されました
- 2022年8月9日 住所表示変更のお知らせ
- 2021年10月1日 8インチ用KOHエッチング装置の販売開始
第72回応用物理学会春季学術講演会 |
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| 日時 | 令和7年3月14日(金)〜3月17日(月) |
| 会場 | 東京理科大学 野田キャンパス（千葉県野田市） |
| URL | https://meeting.jsap.or.jp/ |
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