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MBE装置

サテライト構成マルチチャンバに対応する搬送システム

サテライト構成マルチチャンバに対応する搬送システム

当社の精密加工技術によるアーム搬送システム。
超高真空で回転伸縮可能な3段アームが360℃方向に試料を搬送します。
量産機での採用をはじめ、研究室でも多くの実績があります。