MBE/MOCVD TECHNOLOGY
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GaN用マルチチャンバ型MBE装置
GaN用MBE装置(ハイスループット排気システムを搭載)と絶縁膜・金属膜形成MBE装置(4連EBガン、Kセル8式を搭載)を搬送室で接続しています。
サテライト構成マルチチャンバに対応する搬送システム
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