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K-Cellシリーズ

コンビネーションセル(DSGC-1400SH)

コンビネーションセル

特長

一つのポートで、固体原料とガス原料を供給できる蒸発源です。

使用例：固体 → Si , Be 等ドーパント材料
　　　　　　ガス → CBr₄等

仕様

るつぼ
加熱温度
ガス導入口
取付フランジ
シャッター機構

・・・　固体原料部、各種るつぼ(6cc)
・・・　ガス原料部、石英製
・・・　固体材料部、最高1300℃
・・・　ガス原料部、最高400℃
・・・　VCR1/4
・・・　ICF114以上
・・・　有（シャッター板単枚型、圧空
　　　駆動/手動)または無

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