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K-Cellシリーズ

窒素用ラジカルセル(RC-AIM01)

窒素用ラジカルセル

特長

本製品は、極めて高密度プラズマ生成ができる独自の構造を採用しています。
また、先端部に設けられたイオン除去機構(磁場方式)により、イオン除去が可能です。

仕様

  • プラズマ生成方式
  • プラズマ室構成材料
  • イオン除去部
  • 取り付フランジ
  • ガス導入部

  • プラズマ室冷却


  • 電源
  • ・・・ マイクロ(2.45GHz)放電型
  • ・・・ PBN
  • ・・・ 磁場方式
  • ・・・ >ICF70
  • ・・・ ストップバルブ付
           (継手サイズ:VCR1/8)
  • ・・・ 水冷式
           (継手サイズ:VCR1/8
           またはスウェジロック1/8)
  • ・・・ マイクロ波電源(200W)

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